1、按照PLC程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约1-2 min），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空；
2、 按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
真空炉保养可指导设备操作员在职责范围内对设备各点检部位,用正确的检验方法和工具依据点检周期进行设备的日常保养；操作员需每日依据此保养说明书认真填写《热处理设备日常维护保养记录》，并由班组长检查复核，维修员收集存档。全套设备按技术要求安装完毕后，无缺件并有良好的接地时，即可按下列项目进行调试与验收。
